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一文解读:sem扫描电镜的原理及其结构组成

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  sem扫描电镜的原理是依据电子与物质的相互作用,扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接收、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
 
  sem扫描电镜的结构组成
 
  l、电子光学系统
 
  电子光学系统由电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。为获得较高的信号强度和图像分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
 
  2、电子枪
 
  其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。扫描电子显微镜电子枪与透射电子显微镜的电子枪相似,只是加速电压比透射电子显微镜的低。
 
  3、电磁透镜
 
  扫描电子显微镜一般由三个聚光镜,前两个聚光镜是强透镜,用来缩小电子束光斑尺寸。第三个聚光镜是弱透镜,具有较长的焦距,该透镜下方放置祥品,为避免磁场对二次电子轨迹的干扰,该透镜采用上下极靴不同且孔径不对称的特殊结构,减小了试样表面的磁场强度。
 
  4、扫描线圈
 
  扫描线圈是扫描电子显微镜的一个重要组件,它一般放在最后二透镜之间,也有的放在末级透镜的空间内,使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转,为保证方向一致的电子束都能通过末级透镜的中心射到样品表面;扫描电子显微镜采用双偏转扫描线圈。

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