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技术文章
  • 2021

    9-8

    聚焦离子束显微镜原来可以用于这些地方!

    聚焦离子束显微镜的利用镓(Ga)金属作为离子源,再加上负电场(Extractor)牵引端细小的镓原子,而导出镓离子束再以电透镜聚焦,经过一连串可变孔径光阑,决定离子束的大小,再经过二次聚焦以很小的束斑轰击样品表面,利用物理碰撞来进行特定图案的加工,一般单粒子束的显微镜,可以提供材料切割、沉积金属、蚀刻金属和选择性蚀刻氧化层等功能。聚焦离子束显微镜主要应用于半导体集成电路修改、切割和故障分析、TEM制样等。1.精细切割及材料蒸镀:利用显微镜可以在素玻璃上分别进行镓离子精细切割及...
  • 2021

    8-24

    FIB双束电镜是什么?有哪些功能?

    随着半导体电子器件及集成电路技术的飞速发展,器件及电路结构越来越复杂,这对微电子芯片工艺诊断、失效分析、微纳加工的要求也越来越高。FIB双束电镜所具备的强大的精细加工和微观分析功能,使其广泛应用于微电子设计和制造领域。FIB双束电镜系统是指同时具有聚焦离子束和扫描电子显微镜功能的系统,可以实现SEM实时观测FIB微加工过程的功能,把电子束高空间分辨率和离子束精细加工的优势集于一身。其中,FIB是将液态金属离子源产生的离子束经过加速,再聚焦于样品表面产生二次电子信号形成电子像,...
  • 2021

    8-22

    FIB显微镜的原理和作用,快来了解一下吧!

    随着纳米科技的发展,纳米尺度制造业发展迅速,而纳米加工就是纳米制造业的核心部分,纳米加工的代表性方法就是聚焦离子束。近年来发展起来的聚焦离子束(FIB)技术利用高强度聚焦离子束对材料进行纳米加工,配合FIB显微镜等高倍数电子显微镜实时观察,成为了纳米级分析、制造的主要方法。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、切割和故障分析等。FIB显微镜的工作原理:聚焦离子束(FIB)轰击样品表面,激发二次电子、中性原子、二次离子和光子等,收集这些信号,经处理显示样品的表面形貌。聚焦离子束的...
  • 2021

    8-20

    TEM扫描电镜能通过哪些信号得到被检测样品信息?

    TEM扫描电镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子等多种的信号,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如:形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。TEM扫描电镜正是根据上述不同信息产生的机理,...
  • 2021

    8-18

    你知道透射电镜是由哪几个部分组成的吗?

    透射电镜结构主要分为电子光学、真空系统和供电控制系统三个部分。一、透射电镜电子光学部分:整个电子光学部分完全置于镜筒之内,自上而下顺序排列着电子枪、聚光镜、样品室、物镜、中间镜、投影镜、观察室、荧光屏、照相机构等装置。根据这些装置的功能不同又可将电子光学部分分为照明系统、样品室、成像系统及图像观察和记录系统。1.照明系统:照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中及倾斜调节装置组成。它的作用是为成像系统提供一束亮度高、相干性好的照明光源。电子枪由阴极、栅极和阳极构成。在真空中通...
  • 2021

    8-18

    FEI扫描电镜的哪些功能是我们不知道的?

    FEI扫描电镜专为细胞、细胞器、石棉、聚合物和软材料等在环境温度和低温下的二维和三维成像而设计。以其可选的、可伸缩的冷冻箱和低剂量技术提高了电子束敏材料的成像质量。此外,可以在配置中添加侧插式可伸缩能量色散光谱(EDS)探测器,以实现精确化学分析。超大间隙的C-Twin极靴提供了*的应用灵活性,再加上超高稳定性的电子镜筒,为高分辨率三维表征、原位动态观察和衍射应用提供了新的机会。FEI扫描电镜具有高对比度、高质量的TEM和stem成像,可同时检测多种信号,并可采用四通道集成s...
  • 2021

    8-18

    sem扫描电镜到底具有哪些优点?

    sem扫描电镜的分析室满足了对元素(EDX,WDS)和晶体学(EBSD)样品数据日益增长的需求,该分析室支持多个EDX检测器,以提高通量并消除阴影效应。此外,分析室支持共面EDX/EBSD和平行光束WDS,以确保所有技术的佳定位。由于扫描电镜的现场能力,即使在绝缘或高温的样品上也可以获得可靠的分析结果。用于光子学,地球科学,陶瓷,玻璃和故障分析应用的其他样品信息来自*的可伸缩RGB阴极发光检测器。扫描电镜将广泛的成像和分析模式与新型先进的自动化技术相结合,可提供同类产品中完整...
  • 2021

    8-9

    透射电镜系统是由哪些部分组成的

    透射电镜是目前材料科学领域常用的分析仪器,广泛地应用于各个领域。透射电镜,全称透射电子显微镜,简称TEM,是一种把经加速和聚集的电子束透射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度等相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像在放大、聚焦后在成像器件(如荧光屏,胶片以及感光耦合组件)上显示出来的显微镜。TEM系统由以下几部分组成:1、电子枪:发射电子。由阴极,栅极和阳极组成。阴极管发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束,经阳...
  • 2021

    8-2

    扫描电镜的工作原理及特点分析

    扫描电镜(ScanningElectronMicroscope,简写为SEM)是一个复杂的系统,浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。扫描电镜主要是针对具有高低差较大、粗糙不平的厚块试样进行观察,因而在设计上突出了景深效果,一般用来分析断口以及未经人工处理的自然表面。工作原理:扫描电镜电子枪发射出来的电子束,在加速电压的作用下,经过电磁透镜系统汇聚,形成一个细的电子束斑聚焦在样品表面,末级透镜上装有的扫描线圈可控制电子束在样品表面扫描,同时高能电子...
  • 2021

    7-26

    涨知识!扫描电镜的类型竟有如此之多

    目前,已经成功研制出的扫描电镜包括:典型的扫描电镜、扫描透射电镜(STEM)、场发射扫描电镜(FESEM)、冷冻扫描电镜(Cryo-SEM),低压扫描电镜(LVSEM)、环境扫描电镜(ESEM)、扫描隧道显微镜(STM)、扫描探针显微镜(SPM),原子力显微镜(AFM)等,以下介绍几种常用的扫描电镜。一、扫描隧道显微镜(STM)扫描隧道显微镜的工作原理是利用物理学上的隧道效应及隧道电流。隧道效应是指金属中部分能量低于表面势垒的自由电子能够穿透金属表面势垒,形成金属表面上的&l...
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