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FIB双束扫描电镜的主要组成部分有哪些?

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  FIB双束扫描电镜是一种结合了聚焦离子束和扫描电子显微镜的高精度微纳加工和分析设备。它的主要组成部分包括以下几个部分:
 
  1、离子源:FIB系统是FIB双束扫描电镜的核心部分,用于产生离子束。离子源通常采用电子轰击或液态金属源等方法产生离子。
 
  2、离子透镜系统:离子透镜系统由一组电磁透镜组成,用于对离子束进行聚焦和调节。通过离子透镜系统,可以实现对样品表面的精细加工和成像。
 
  3、样品室:样品室是放置待加工和观察样品的空间。样品室通常采用高真空环境,以减少气体分子对离子束的影响。
 
  4、扫描器:扫描器负责控制离子束在样品表面的扫描路径。扫描器通常采用电磁偏转器或压电陶瓷等方式实现离子束的精确扫描。
 

FIB双束扫描电镜

 

  5、检测器:检测器用于收集从样品表面反射、散射或产生的信号。常见的检测器包括二次电子探测器、X射线能谱仪等。
 
  6、电子枪:电子枪用于产生一束高能量的电子束,作为SEM的光源。电子束经过一系列电磁透镜的聚焦和调节后,照射到样品表面,产生二次电子等信号。
 
  7、信号处理系统:信号处理系统负责对接收到的信号进行处理和分析,以获得样品的形貌、成分和结构等信息。
 
  8、控制系统:控制系统负责整个FIB双束扫描电镜的运行和参数调节。用户可以通过控制系统实现对离子束的能量、电流、扫描速度等参数的调节,以及对样品的加工和观察操作。
 
  9、真空系统:真空系统负责维持整个高真空环境。真空系统通常包括机械泵、涡轮分子泵、真空阀等部件。
 
  10、计算机系统:计算机系统负责控制整个FIB双束扫描电镜的运行,以及数据处理和图像重建等功能。计算机系统通常采用高性能的工业控制计算机,并配备专门的软件系统。
 

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