SEM扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。该设备是利用电子束扫描样品表面，产生二次电子等信号，通过检测这些信号来获取样品表面形貌、成分等信息。
SEM扫描电镜的分辨率可以达到纳米级别，甚至在一些先进的设备中可以达到亚纳米级别，能够清晰地观察到样品表面的细微结构和形貌特征。具有良好的景深，可以展示样品的立体结构，便于理解样品的形貌。
SEM扫描电镜凭借其高分辨率和多功能性，在众多领域中得到了广泛应用：
1、材料科学：用于研究材料的微观结构、成分和缺陷，如观察金属材料的晶粒、相界面和微观裂纹等，有助于优化材料性能和开发新材料。
2、纳米技术：用于分析和表征纳米材料，如观察纳米颗粒、纳米线、纳米管等纳米结构的形态和尺寸，帮助研究人员理解纳米材料的特性和行为。
3、生物医学：用于观察细胞、组织和微生物等生物样品的超微结构。
4、半导体行业：在半导体制造过程中，用于检测芯片表面的缺陷、测量线宽和层厚，确保生产工艺的精确控制。
5、地质学：用于研究矿物的微观结构和成分，如观察矿物的晶体形态、裂隙和包裹体等，帮助地质学家了解矿床的成因和演化过程。
