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智能型钨灯丝扫描电镜和场发射扫描电镜的区别分析

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  智能型钨灯丝扫描电镜总发射电流和束斑都较大,抗干扰能力和稳定性都较好,低真空下可以对不导电样品无荷电成像,可用于形貌观察、显微结构分析、断口形貌分析,在材料、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学等领域都有广泛的用途。
 
  智能型钨灯丝扫描电镜和场发射扫描电镜的区别如下:
 
  1、点源直径不同及优劣
 
  钨灯丝扫描电镜电子枪阴极使用0.1mm直径的钨丝制成V极),使用V形的作为点发射源,曲率半径大约为0.1mm;场发射扫描电镜电子枪阴极使用0.1mm直径的钨丝,经过腐蚀制成针状的尖阴极,一般曲率半径在100nm~1μm之间。由于制作工艺上的差异,造价不同,发叉式钨丝阴极便宜,场发射阴极很贵。
 
  2、发射机制不同和优劣
 
  钨灯丝扫描电镜属于热发射,在灯丝电极加直流电压,钨丝发热,使用温度一般在2600K~2800K之间,钨丝有很高的电子发射效率,温度越高电流密度越大,理想情况下的的电子枪亮度越高。由于材料的蒸发速度随温度升高而急剧上升,因此钨灯丝的寿命比较短,一般在50~200小时之间,这个和设定的灯丝温度有关。由于电子发射温度高,发射的电子能量分散度大,一般2ev,电子枪引起的色差会比较大。

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