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扫描电子显微镜对待观察样品有哪些要求?

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扫描电子显微镜的优势为可以直接观察非常粗糙的样品表面,参差起伏的材料原始断口。但其劣势为样品必须在真空环境下观察,因此对样品有一些特殊要求,总的来说:干燥,无油,导电。  

1、形貌形态,必须耐高真空。  

例如有些含水量很大的细胞,在真空中很快被抽干水分,细胞的形态也发生了改变,无法对各类型细胞进行区分;  
 

2、样品表面不能含有有机油脂类污染物。  

油污在电子束作用下容易分解成碳氢化物,对真空环境造成极大污染。样品表面细节被碳氢化合物遮盖;碳氢化合物降低了成像信号产量;碳氢化合物吸附在电子束光路引起极大象散;碳氢化合物被吸附在探测器晶体表面,降低探测器效率。对低加速电压的电子束干扰严重。  
 

3、样品必须为干燥。  

水蒸气会加速电子枪阴极材料的挥发,从而极大降低灯丝寿命;水蒸气会散射电子束,增加电子束能量分散,从而增大色差,降低分辨能力。  
 

4、样品表面必需导电。  

在大多数情况下,初级电子束电荷数量都大于背散射电子和二次电子数量之和,因此多余的电子必须导入地下,即样品表面电位必须保持在0电位。如果样品表面不导电,或者样品接地线断裂,那么样品表面静电荷存在,使得表面负电势不断增加,出现充电效应,使图像畸变,入射电子束减速,此时样品如同一个电子平面镜。  
 

5、在某些情况下,样品制备变成重要的考虑因素。  

若要检测观察弱反差机理,就必须消除强反差机理(例如,形貌反差),否则很难检测到弱的反差。当希望EBSD背散射电子衍射反差,I和II型磁反差或其他弱反差机理时,磁性材料的磁畴特性必需消除样品的形貌。采用化学抛光,电解抛光等,产生一个几乎消除形貌的镜面。 特殊情况:磁性材料,必须退磁。

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