扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样_上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。
扫描电镜主要可以分为三个部分:
a.电子光学系统
作用:是用来获得很细的电子束(直径约几个nm)，作为产生物理信号的激发源。
b.信号收集处理，图像显示和记录系统
作用:收集(探测)样品在入射电子束作用下产生的各种物理信号，并进行放大；将信号检测放大系统输出的调制信号转换为能显示在阴极射线管荧光屏上的图像，供观察或记录。
c.真空系统
作用:保证电子光学系统正常工作，防止样品污染，避免灯丝寿命快速下降。
需要提供高的真空度，一般情况下要求保持10-4~10-5mmHg的真空度。
