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FIB双束扫描电镜的工作流程,就差你不知道了

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  FIB双束扫描电镜是通过聚焦离子束(FIB)与扫描电子显微镜(SEM)耦合成为FIB-SEM双束系统后,通过结合相应的气体沉积装置,纳米操纵仪,各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。
 
  FIB双束扫描电镜的工作流程如下:
 
  1、执行激光加工的设置步骤
 
  (1)将样品装载到样品夹上并传送到双束电镜主舱室。
 
  (2)导入、覆盖和对齐蔡司关联工作区的三维X射线数据或二维光学显微镜图像等。
 
  (3)找到您的感兴趣区域,获取参考图像。
 
  2、对齐扫描电镜和激光坐标
 
  (1)使用SEM扫描四个样品架基准点以锁定样品和SEM坐标。
 
  (2)将样品运送到集成飞秒(fs)激光室。
 
  (3)使用飞秒激光扫描四个样品架基准点以锁定样品和激光坐标。
 
  (4)SEM和激光坐标现已对齐。
 
  3、加工大量材料
 
  (1)绘制您的激光图案。
 
  (2)曝光您的激光图案。
 
  (3)以优于2μm的目标精度快速去除大量材料。
 
  4、将样品传送到双束电镜主舱室,让您的双束电镜继续工作
 
  (1)已经能够观察到微结构细节。
 
  (2)根据高分辨率成像的需要执行FIB抛光。
 
  (3)使用新颖的工作流程创建TEM和原子探针样品。
 
  (4)通过即时SEM反馈,快速优化激光方案。

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