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STEM透射电镜的原理是什么?它有哪些特点?

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  STEM透射电镜是赛默飞用于高分辨率成像和分析应用的场发射扫描/透射电子显微镜,是专为满足各种材料科学样品和样品的性能和效率而设计的。在应用中具有大灵活性,结合高再现性能的镜筒设计,可支持高分辨率二维和三维表征分析、原位动态观测及电子衍射应用。
 
  STEM透射电镜的主要特点:
 
  (1)STEM技术要求较高,要非常高的真空度,并且电子学系统比TEM和SEM都要复杂。
 
  (2)加速电压低,可显著减少电子束对样品的损伤,而且可大大提高图像的衬度,特别适合于有机高分子、生物等软材料样品的透射分析。
 
  (3)可以观察较厚的试样和低衬度的试样。
 
  (4)扫描透射模式时物镜的强激励,可以实现微区衍射。
 
  (5)应用扫描电镜的STEM模式观察生物样品时,样品无需染色直接观察即可获得较高衬度的图像。
 
  STEM透射电镜的形成原理:
 
  在扫描电镜中,电子束与薄样品相互作用时,会有一部分电子透过样品,这一部分透射电子也可用来成像,其形成的像就是扫描透射像。扫描电镜的STEM图像跟透射电镜类似,也分为明场像和暗场像,明场像的探测器安装在扫描电镜样品的正下方,当入射电子束穿过样品后,散射角度较小的电子经过光阑孔选择后进入明场探测器形成透射明场像,散射角比较大的电子经DF-STEM电极板反射,由二次电子探头接受形成暗场像。

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