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聚焦离子束电镜可以用于哪些场合?

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  聚焦离子束电镜是将液态金属离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像。具有使用方便,产品质量稳定,分析高效等特点。具有特殊的样品制备和三维成像能力,广泛应用于材料科学、纳米技术、生命科学等领域。
  聚焦离子束电镜的主要应用:
  1.定点剖面形貌和成分表征:通过精确控制离子束的位置和能量,可以实现对样品特定区域的精确切割和分析。
  2.TEM样品的制备:该产品是制备超薄样品截面的理想选择,为透射电子显微镜(TEM)分析提供高质量的样品。
  3.微纳结构的处理:利用离子束的刻蚀功能,可以在纳米尺度上直接“雕刻”微观结构,如量子点、纳米线和微流体器件等。
  4.芯片线路的重构和修复:聚焦离子束电镜允许对芯片进行局部修改,包括连接路径的切断和重建,是电路设计验证和故障分析的重要工具。
  聚焦离子束电镜作为一种强大的分析工具,为纳米尺度的材料加工和分析提供了重要支持,推动了材料科学、电子工程和纳米技术等领域的快速发展。

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