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扫描电镜是观察样品微观形貌的重要工具之一

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扫描电镜是观察样品微观形貌的重要工具之一,被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。
 
扫描电镜主要由以下几个部分组成:
 
1、镜筒
镜筒包括电子枪、聚光镜、物镜及扫描系统。其作用是产生很细的电子束(直径约几个nm),并且使该电子束在样品表面扫描,同时激发出各种信号。
 
2、电子信号的收集与处理系统
在样品室中,扫描电子束与样品发生相互作用后产生多种信号,其中包括二次电子、背散射电子、X射线、吸收电子、俄歇(Auger)电子等。在上述信号中,最主要的是二次电子,它是被入射电子所激发出来的样品原子中的外层电子,产生于样品表面以下几nm至几十nm的区域,其产生率主要取决于样品的形貌和成分。通常所说的扫描电镜像指的就是二次电子像,它是研究样品表面形貌的最有用的电子信号。检测二次电子的检测器的探头是一个闪烁体,当电子打到闪烁体上时,就在其中产生光,这种光被光导管传送到光电倍增管,光信号即被转变成电流信号,再经前置放大及视频放大,电流信号转变成电压信号,最后被送到显像管的栅极。
 
3、电子信号的显示与记录系统
扫描电镜的图象显示在阴极射线管(显像管)上,并由照相机拍照记录。显像管有两个,一个用来观察,分辨率较低,是长余辉的管子;另一个用来照相记录,分辨率较高,是短余辉的管子
 
4、真空系统及电源系统
扫描电镜的真空系统由机械泵与油扩散泵组成,其作用是使镜筒内达到10的真空度。
电源系统供给各部件所需的特定的电源。
 
扫描电镜是一种多功能的仪器,具有很多*的性能,其用途也十分地广泛。它可以进行如下基本分析:
1、观察纳米材料
2、观察生物试样
3、观察厚试样
4、直接观察大试样的原始表面
5、观察试样的各个区域的细节
6、在大视场、低放大倍数下观察样品
7、进行从高倍到低倍的连续观察
8、材料断口的分析
9、进行动态观察

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