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认识FIB双束扫描电镜,从认识它的工作原理开始

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  FIB双束扫描电镜具有高性能成像和分析性能。它经过精心设计,以满足材料科学研究人员和工程师使用FIB-SEM的需求。它重新定义了高分辨率成像的标准,引入了一种新的精细图像调节功能FLASH(闪烁)技术。
 
  FIB双束扫描电镜只需在用户界面中操作鼠标即可“实时”执行散光、镜头对中和图像对焦。自动调整可以显著提高通量、数据质量并简化高质量图像的获取。所有人员操作都非常方便,只有经过短期培训才能使用。
 
  FIB双束扫描电镜的工作原理:
 
  双束聚焦离子束系统可以简单地理解为单束聚焦离子光束系统和普通扫描电镜的耦合。常见的双束设备是电子束的垂直安装。离子束和电子束以一定角度安装。电子束和离子束焦平面的交点通常称为同心高度位置。当样品在使用过程中处于同心高度的位置时,可以同时实现电子束成像和离子束处理,通过样品台的倾斜可以使样品表面垂直于电子束或离子束。
 
  双束系统还可以配备不同的辅助设备以实现特定目的,例如特定的气体注入系统(GIS),它可以通过化学气体反应与物理溅射相结合,选择性地去除某些材料或沉积材料(导电或绝缘);能谱或电子背散射衍射系统可以表征和分析材料成分、结构、取向等;纳米机械手可以在微米和纳米尺度上控制研究对象;各种可控样品台架,如温度控制、通电、加力等,可实现多场耦合条件下的现场分析和测试。

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