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这是你想知道的赛默飞电子显微镜吗?

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  赛默飞电子显微镜将成熟的技术和创新的功能结合,是需要对日益复杂的结构和更小的尺寸进行更大量精确测量的半导体和内存环境的平台是半导体和存储环境对先进制程日益复杂的结构和不断缩小的尺寸进行大量精准测量的平台。
 
  赛默飞电子显微镜拥有透镜内背散射探测器T1,其位置紧靠样品以便尽可能多地收集信号,从而确保在很短的时间内采集数据。与其他背散射探测器不同,这种快速的探测器始终可保证良好的材料对比度,在导航时、倾斜时或工作距离很短时也不例外。
 
  在敏感样品上,探测器的价值凸现出来,即使电流低至几pA,它也能提供清晰的背散射图像。复合末级透镜通过能量过滤实现更准确的材料对比度以及绝缘样品的无电荷成像,进一步延伸了T1BSE探测器的潜在价值。它还提供了流行选项来补充其探测能力,例如定向背散射探测器和低真空气体分析探测器(GAD)。所有这些探测器都拥有的软件控制分割功能,以便根据需求选择最有价值的样品信息。
 
  赛默飞电子显微镜按照标准配备各种用以处理绝缘样品的策略,对于最有挑战性的应用,可提供电荷缓解策略。其中包括可选的低真空(最高为500Pa)策略,通过经现场验证的穿镜式差分抽气机构和专用低真空探测器,不但可以缓解任何样品上的电荷,还能提供分辨率和较大的分析电流。

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