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扫描电镜显微镜在不同行业中的应用

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  由于扫描电镜显微镜的高分辨率和大焦深,使得它可以对各种化学物质进行非常详细的分析。它打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性,利用创新的双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像方式,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而,可以获得更高的分辨率,是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。
 
  在检查半导体和微电子器件时,需要灵活选择和使用操作参数(加速电压、样品倾斜、扫描线时间等)以及正确的分析程序,以获得最大的信息。QFN器件中由湿热环境(如吸湿)引起的界面裂纹很常见,会导致器件失效。扫描电镜显微镜可以用来寻找任何裂缝。用户可以看到这些裂缝位于界面的哪个连接处以及它们的扩展方向。由于裂纹与界面强度有关,因此裂纹信息可用于评估对QFN器件研究的实际意义。
 
  扫描电镜显微镜通常在高真空状态下工作。然而,在低真空中,可以观察到未涂覆导电材料的样品。在高真空下,充电效应不可避免。通过在低真空下对样品成像,减少了充电效应,图像更加清晰。最初,为了查看整个样本,用户必须分别拍摄图像并手动合成。然而,利用扫描电镜的全景拍摄,选定区域的多个图像被自动捕获和组合。它标准配置的两轴马达驱动样品台,全自动真空系统,全自动的电子光学调控系统,可以让用户从开始到结束都可以用手指在触摸屏上进行操作。除了全自动功能以外,扫描电镜还提供给更加的用户所有手动调节功能,使得仪器几乎具备大型机所有的调节功能,从而获得更佳的图像品质。
 

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