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高分辨率扫描电镜的检测范围和基本构造

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  高分辨率扫描电镜是电子显微镜的一种,其原理是利用二次电子或背散射电子成像,对样品表面放大一定的倍数进行形貌观察,同时利用电子激发出样品表面的特征X射线来对微区的成分进行定性定量分析,是我们材料研究分析中一双亮丽的“眼睛”。扫描电镜按照电子枪分类可以分为钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射三种,场发射扫描电镜相比于钨灯丝、六硼化镧,具有电子束斑小、高分辨率、稳定性好等特点。
 
  高分辨率扫描电镜的检测范围:
 
  1.金属、陶瓷、高分子、矿物、半导体、纸张、化工产品的显微形貌观察及材料的晶体结构、相组织分析;
 
  2.各种材料微区化学成分的定性定量检测;
 
  3.粉末、微粒、纳米样品形态观察和粒度测定;
 
  4.机械零件与工业产品的失效分析;
 
  5.镀层厚度、成分与质量测定;
 
  6.生物、医学和农业等领域。
 
  高分辨率扫描电镜的基本构造:
 
  1.电子枪:也称电子源,产生连续不断的稳定的电子流。场发射电子枪与普通钨丝电子枪有所不同,阴极呈杆状,在它的一端有个极锋利的尖点(直径小于100nm),顶端的电场极强,电子直接依靠“隧道”穿过势垒离开阴极,由加速电压加速产生高速电子流飞向样品。一般来说,扫描电镜加速电压通常为1-30kV。
 
  2.电子透镜:将从电子枪发射出来的电子汇聚成直径最小为1-5nm电子束。
 
  3.扫描系统:使电子束作光栅扫描运动。

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