你的位置:首页 > 技术文章 > 环境扫描电子显微镜的工作原理和仪器特点

技术文章

环境扫描电子显微镜的工作原理和仪器特点

技术文章
  环境扫描电子显微镜工作原理:电子与样品中的原子相互作用,产生包含关于样品的表面测绘学形貌和组成的信息的各种信号。电子束通常以光栅扫描图案扫描,并且光束的位置与检测到的信号组合以产生图像。扫描电子显微镜由电子枪发射出电子束,在加速电压的作用下经过磁透镜系统汇聚,形成电子束,聚焦在样品表面上,在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下,电子束在样品上做光栅状扫描,电子和样品相互作用产生信号电子。这些信号电子经探测器收集并转换为光子,再经过电信号放大器加以放大处理,成像在显示系统上。
 
  环境扫描电子显微镜的仪器特点:
 
  ①能够直接观察样品表面的结构。
 
  ②样品制备过程简单,不用切成薄片。
 
  ③样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。
 
  ④景深大,图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍,比透射电镜大几十倍。
 
  ⑤图象的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间。
 
  ⑥电子束对样品的损伤与污染程度较小。
 
  ⑦在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。
 
  环境扫描电子显微镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统。
 
  1.真空系统:主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。
 
  2.电子束系统:由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。
 
  3.成像系统:电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。

联系我们

地址:北京市朝阳区惠河南街南岸一号义安门39-110 传真: Email:sale@opton.com.cn
24小时在线客服,为您服务!

版权所有 © 2021 北京欧波同光学技术有限公司 备案号:京ICP备17017767号-4 技术支持:化工仪器网 管理登陆 GoogleSitemap

在线咨询
QQ客服
QQ:442575252
电话咨询
13126536208
关注微信